目前可以提供的应变片具有较宽的零应变电阻选择范围,可以选择的传感器材料和相关技术也非常广泛,但在大量应用中主要采用了几类数值(如120Ω和350Ω)。过去,标准值很容易实现与基本磁反射计的连接,这些反射计含有匹配输入阻抗网络,从而简化了应变测量。
应变片的类型和组成
金属应变片的生产采用了一定数量的合金,选择较小的应变片和应变材料温度系数差。钢、不锈钢和铝成为主要的传感器材料。也可以使用铍铜、铸铁和钛,“大部分”合金推动了温度兼容应变片的大批量低成本生产。350Ω铜镍合金应变片是最常用的。厚膜和薄膜应变片具有可靠和易于生产的特性,适用于汽车行业,其生产一般采用陶瓷或者金属基底,在表面沉积绝缘材料。通过汽相沉积工艺将应变片材料沉积在绝缘层的表面。采用激光汽化或者光掩模和化学刻蚀技术在材料上刻出传感片和连接线。有时会加入保护绝缘层,以保护应变片和连接线。应变片材料一般包括专用合金,以产生所需的应变片阻抗、阻抗压力变化,以及(出于温度稳定性)传感器和基本金属之间的最佳温度系数匹配等。针对该技术开发了标称3~30kΩ的应变片和电桥电阻,用于生产压力和力传感器。
电桥激励技术
应变片、薄膜和厚膜应变片传感器一般采用惠斯通电桥。惠斯通电桥将应变片应变产生的电阻转换为差分电压如图1所示。+Exc和-Exc终端加上激励电压后,+VOUT和-VOUT终端上出现与应变成正比的差分电压。
图1 惠斯通电桥配置中连接的应变片
在半有源惠斯通电桥电路(如图2所示)中,电桥只有两个元件是应变片,它们响应材料中的应变。这种配置的输出信号(满量程负载一般为1mV/V)是全有源电桥的一半。
图2 半有源惠斯通电桥配置中连接的应变片
另一种全有源电桥电路如图3所示采用了四片以上有源350Ω应变片。特征电桥电阻是350Ω,输出灵敏度是2mV/V,应变片在较大范围内采用了应变材料。
图3 一种16应变片惠斯通电桥配置
温度对传感器性能的影响