从2005年开始,七星华创转向8英寸设备的研发和制造,目前已开发出扩散炉、LPCVD、PECVD和单晶圆清洗的8英寸设备,尽管目前这些设备相较与先进工艺设备商还存在着一定的差距。据了解,七星华创将负责北京一家新建CMOS生产厂商整条生产线扩散部分设备的选择、组装、翻新和所有的技术支持。其中,将引入两台七星华创的扩散炉。基于这是一条标准的8英寸CMOS生产线,因此对七星华创设备的考核具现实意义。2005年七星华创与Aviza合作在中国当地
从2005年开始,七星华创转向8英寸设备的研发和制造,目前已开发出扩散炉、LPCVD、PECVD和单晶圆清洗的8英寸设备,尽管目前这些设备相较与先进工艺设备商还存在着一定的差距。据了解,七星华创将负责北京一家新建
CMOS生产厂商整条生产线扩散部分设备的选择、组装、翻新和所有的技术支持。其中,将引入两台七星华创的扩散炉。基于这是一条标准的8英寸CMOS生产线,因此对七星华创设备的考核具现实意义。
2005年七星华创与Aviza合作在中国当地生产Aviza的设备,七星华创主要帮助aviza做
电源整体部件和框架,而设备的关键部件和整合还是在美国完成。2005年中芯国际
太阳能生产线也采用了针对太阳能电池片生产线而设计的扩散炉设备和PECVD设备。目前,6个月的DEMO期接近尾声,设备已经进入了验收评估阶段。
七星华创副总经理盛金龙认为：集成电路产业若要健康发展走上成功之路,必定需要有本土的成熟完善的设备、材料
供应市场来支撑,集成电路制造厂商也应积极扶持本土设备厂商,在必要的时候也要有所牺牲。而作为设备供应商,也要努力做到系统部件与国际保持统一,建立统一的平台,在技术和理念上与国际接轨,提高客户对本土产品的接受程度。
