统计工艺控制在GaAs集成电路生产中的应用
统计工艺控制(SPC)是把基本的统计概念运用到生产过程中收集的单个数据点和系列数据点上的一种统计分析和工艺控制手段。运用统计分析,可以根据工艺以往的输出记录迅速地判断出一个数据点是否处在控制状态。
由于SPC可减少变异和缺陷,因此它是“产品不断提高”这一生产思想的组成部分。在这一生产原则中,有效地运用统计工艺控制可提高产品的性能和质量,还可提高成品率,缩短周期时间,增加产品研制一次通过的可能性,从而缩短新品研制周期,降低产品的成本。
随着GaAs生产技术的日益成熟,在批量生产中仅仅以达到产品最大性能为目标是不够的,还必须要减少产品的可变性。要实现这一目标就必须通过有效的途径,找出并减少产品的变化源。SPC方法为连续监控工艺变化和评价工艺改进效果提供了有力而又便于实施的统计分析手段。统计概念经过简化后形成一套便于收集数据时使用的准则。通过这些准则就可对工艺中会增加产品变化的偏离情况进行实时监控。
