1、进样系统

　　进样系统是ICP仪器中极为重要的部分，也是ICP光谱分析研究中最活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。

　　2、电感耦合等离子体光源（ICP）

　　3、光谱仪的分光（色散）系统

　　复合光经色散元素分光后，得到一条按波长顺序排列的光谱，能将复合光束分解为单色光，并进行观测记录的设备称为光谱仪。

　　4、检测器--光电转换器件

　　光电转换器件是光电光谱仪接收系统的核心部分，主要是利用光电效应将不同波长的辐射能转化成光电流的信号。

　　ICP发射光谱法包括了三个主要的过程，即：

　　由plasma提供能量使样品溶液蒸发、形成气态原子、并进一步使气态原子激发而产生光辐射；

　　将光源发出的复合光经单色器分解成按波长顺序排列的谱线，形成光谱；

　　用检测器检测光谱中谱线的波长和强度。

　　由于待测元素原子的能级结构不同，因此发射谱线的特征不同，据此可对样品进行定性分析；而根据待测元素原子的浓度不同，因此发射强度不同，可实现元素的定量测定。

　　优点：

　　1. 多元素同时检出能力。

　　可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。

　　2. 分析速度快。

　　试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。

　　3. 选择性好。