1 半导体型传感器

　　以电阻型半导体传感器为例:

　　主要以 SnO2 , ZnO,WO3 等金属氧化物为气敏材料 ,例如:国产 QM系列氢气传感器就是以 SnO2 作为氢气敏感材料 ,故也称金属氧化物半导体氢气传感器。其工作原理是:当吸附氢气后 ,氢气作为施主释放出电子 ,与化学吸附层中的氧离子结合 ,于是载流子浓度发生变化 ,该变化值与氢气体积分数存在一定的函数关系。

　　2　热电型传感器

　　首先 ,在基片上沉积一层热电材料 ,然后 ,在热电材料表面的某一部分沉积一层催化金属 ,如 , Pt, Pd等 ,最后 ,分别在催化金属层、热电薄膜层 (表面上无催化金属 )引出电极 ,即获得最为简单的热电型氢气敏感元件。

　　当此敏感元件暴露在含氢气的环境中 在催化金属的,作用下 ,氢气与氧气反应生成水蒸汽并放出热量 ,于是 ,沉积有催化金属的一端温度高 ,为热端 ,无催化金属的一端温度低 ,为冷端 ,由于热电材料的热电发电效应 (Seebeck效应 ) ,将这种热端与冷端之间的温差转换为温差电势 ,以电信号的形势输出 ,从而实现对氢气的检测。

　　3　光纤传感器