透射电镜,透射电镜的分类,透射电镜参数指标等
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透射电镜,透射电镜的分类,透射电镜参数指标等  2011/10/3

目录

  • 透射电镜概述
  • 透射电镜的结构
  • 透射电镜的原理
  • 透射电镜的分类
  • 透射电镜发展趋势
透射电镜

透射电镜概述

  •   1958年,中国科学院长春光学精密机械研究所研制成功了我国第一台透射电子显微镜,分辨率达2.5纳米,20世纪70年代,透射电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨本领约为0.1毫米)。透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜,是材料科学研究的重要手段,能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。透射电镜把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。透射电镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~几十万倍。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,必须制备更薄的超薄切片(通常为50~100nm)。其制备过程与石蜡切片相似,但要求极严格。

透射电镜的结构

  •   透射电镜由电子光学系统、真空系统和电子学系统三大部分组成。

      (一)电子光学系统

      电子光学系统即电镜的镜体,基本上是一个电子透镜系统,一端是电子源,另一端是观察和记录系统,中间是安装样品的装置。

      1.照明系统

      由电子枪和聚光镜组成。其作用是为成像系统提供一个亮度高、尺寸小、高稳定的照明电子束。

      电子枪是电镜的照明源,由灯丝阴极、栅极 (或称韦氏圆筒)和加速阳极组成。

      聚光镜的作用是将来自电子枪的电子会聚到样品上,通过它来控制照明电子束斑大小,电流密度和孔径角。

      2.成像系统

      包括样品室、物镜、中间镜和投射镜(或两个中间镜或两个投射镜构成4~5个透镜系统)。

      (1)样品室:室内有样品台,电镜的样品载于载网上,载网放在样品架(或称样品筒)上。

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