根据测量原理不同，电容式传感器可分为变面积型传感器；变极距型传感器；变介质型传感器。极距变化型一般用来测量微小的极距变化。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
可进行非接触测量；
功率小、阻抗高;
电容器小几十～几百微法，具有高输出阻抗;
本身发热影响小;
可动质量小,具有高的固有频率动态响应特性好；
静电引力小（极板间），工作所需作用力很小。
