
声表面波气敏传感器涉及重点在于化学界面膜、SAW传感器及电子线路3个方面。在应用中,为了消除环境温度、压力、湿度等因素对测量结果的影响,通常采用双通道结构,如下图所示。一个通道上镀以敏感膜用于测量,另一个是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿,通过计算可以得到两者间频率的差,从而得出待测气体浓度。
一个完整的声表面波气敏传感器通常由石英声表面波装置(ST-Quartz SAW Device)、SAW装置检测片(SAW Device Detector Block)、振幅测量系统(Amplitude Measurement System)、相测量系统(Phase Measurement System)、频率测量系统(Frequency Measurement System)、压力监测系统(Pressure MONitoring System)、温度控制系统(Temperature Control System)、温度压力检测仪(Temperatureand Pressure Test Apparatus)、数据软件(Data Acquisition Software)等组成,这些设备共同构成SAW传感器,完成检测。