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声表面波气敏传感器,声表面波气敏传感器的分类,声表面波气敏传感器参数指标等  2011/10/3

目录

  • 声表面波气敏传感器的结构
  • 声表面波气敏传感器工作原理
  • 声表面波气敏传感器特点
  • 新型声表面波气敏传感器
  • 声表面波气敏传感器的发展潜力
声表面波气敏传感器

声表面波气敏传感器的结构

  •   声表面波气敏传感器涉及重点在于化学界面膜、SAW传感器及电子线路3个方面。在应用中,为了消除环境温度、压力、湿度等因素对测量结果的影响,通常采用双通道结构,如下图所示。一个通道上镀以敏感膜用于测量,另一个是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿,通过计算可以得到两者间频率的差,从而得出待测气体浓度。

      一个完整的声表面波气敏传感器通常由石英声表面波装置(ST-Quartz SAW Device)、SAW装置检测片(SAW Device Detector Block)、振幅测量系统(Amplitude Measurement System)、相测量系统(Phase Measurement System)、频率测量系统(Frequency Measurement System)、压力监测系统(Pressure MONitoring System)、温度控制系统(Temperature Control System)、温度压力检测仪(Temperatureand Pressure Test Apparatus)、数据软件(Data Acquisition Software)等组成,这些设备共同构成SAW传感器,完成检测。

声表面波气敏传感器工作原理

  •   声表面波器件之波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。声表面波气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜,当该气敏薄膜与待测气体相互作用(化学作用或生物作用,或者是物理吸附),使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时,引起压电晶体的声表面波频率发生漂移;气体浓度不同,膜层质量和导电率变化程度亦不同,即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以准确的反应气体浓度的变化。

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