白光干涉仪产品特点

• 　　1、非接触式测量：避免物件受损。

  　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。

  　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

  　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

  　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

  　　6、扫描仪：采用闭环控制系统。

  　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

  　　8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

白光干涉仪技术参数

白光干涉仪应用领域

• 　　1、TFT产业

  　　2、半导体

  　　3、MEMS

  　　4、高校科研

  　　5、精密加工