1. 真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5

　　2. 离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7

　　3. 测 量 误 差： ＜10%

　　4. 测 量 分 辨 率： 10-5pa

　　5. 允许环境温度： -20℃～50℃

　　6. 空 气 湿 度： ≤80%RH

　　7. 电 源： AC，220V，50Hz±10%

　　8. 外 型 尺 寸： 420×290×210（mm）

　　9. 高 压 输 出： 脉冲30kV15kHz

　　⒑ 重 量： 8kg

　　1、CPU主控单元

　　该部分用于接收用户指令，控制显示器进行各种显示，产生高压单元所需的脉冲信号，及对磁控电流控制单元发出各种控制指令，负责整个测量过程的精确时序控制，该单元是整个系统的主体。

　　2、高压与磁控电流控制板