激光干涉仪,激光干涉仪的分类,激光干涉仪参数指标等
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激光干涉仪,激光干涉仪的分类,激光干涉仪参数指标等  2011/10/3

目录

  • 激光干涉仪技术综述
  • 激光干涉仪技术参数
  • 激光干涉仪主要特点
  • 激光干涉仪仪器介绍
激光干涉仪

激光干涉仪技术综述

  •   1D激光主要可以测量定位误差

      3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)

      5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角

激光干涉仪技术参数

  •   5D/6D标准型:

      1. 线性:0.5ppm .

      2. 测量范围:40米(1D可选80米)

      3. 线性分辨力:0.001um.

      4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

      5. 最大范围:800角秒

      6. 滚动角精度:1.0角秒

      7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

      8. 直线度最大范围:500um

      9. 垂直度精度:1角秒

      10. 温度精度:0.2摄氏度

      11.湿度精度:5%

      12.压力精度:1mmHg

激光干涉仪主要特点

  •   1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

      2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

      3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

      4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性

      5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架

      6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间

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