几十年以前，三坐标测量仪在工业界仅是极少人知道的。自从60年代起，由于电子、计算机及传感器等技术的发展，三坐标测量仪的功能及应用，也改善了许多，使制造工业可以达到高质量、高效率及多功能等测量需求。因此质量管理部门可以对工件的尺寸、几何形状及轮廓等测量达到快速且精确。

　　1920~1930年代间，由于万能测量显微镜及工具显微镜无法做 轴方向的测量。1940年英国Coventry量规制造公司，首先推出以肉眼来读标准尺及显微镜的比较测量方式的三坐标测长仪。1950至1960年间英国 Ferranti 公司真正制造出三坐标测量机，但仍沿用肉眼读出方式，因此需用熟练的技术人员来操作方能达成。1960年后，英国国家工程实验所 (National Engineering Laboratory, NEL) 及国家物理实验所 (National Physical Laboratory, NPL) 共同研究出使用线性光栅式 (Linear gratings) 及莫瑞条纹 (Moire’ fringes) 来编码，这就是今日所用三坐标测量仪数值读出方式，目前各轴移动最小读数可达0.001 mm，然后再配合计算机应用。由于计算机软件的设计为交谈式，故在使用上十分方便，因而三坐标测量仪的使用，已为现代工业测量不可或缺的利器。

　　1、量测前准备：

　　（a）检查空气轴承压力是否足够

　　（b）安装工件

　　2、测头选择及安装：

　　（a）将适当之测头装于 Z 轴承接器

　　（b）检视 Z 轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）