1,可以测量多层膜中每一层的厚度

　　2,三维的厚度型貌

　　3,远程控制和在线测量

　　4,可做150mm or 300mm 的大范围的扫描测试

　　5,丰富的材料库:操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据,基本上的常用材料都包括在这个材料库中.用户也可以在材料库中输入没有的材料.

　　6,软件操作简单,测速快:膜厚测量仪操作非常简单,测量速度快:100ms-1s.

　　7,软件带有构建材料结构的拓展功能,可对单/多层薄膜数据进行拟合分析,可对薄膜材料进行预先模拟设计.

　　8,软件带有可升级的扫描功能,进行薄膜二维的测试,并将结果以2D或3D的形式显示.软件其他的升级功能还包括在线分析软件,远程控制模块等

　　厚度测量:10纳米-250微米; 可以选择250nm-1100nm间任一波长,也可在该范围内选择多波长分析;

　　波长: 250-1100nm

　　厚度范围: 10nm--250m

　　分辨率: 0,1nm

　　重复性: 0,3nm

　　准确率: <1[%] (100nm--100m)

　　测试时间: 100ms -- <1s

　　分析层数: 1-- 4

　　离光纤距离: 1-5mm

　　离镜头距离: 5mm-- 100mm

　　入射角度: 90°

　　光斑点大小: 400m

　　微光斑手段: 与显微镜联用,1-- 20m with Microscope 10x/20x/50x MagnificatiON and MFA-Adapter;

　　光纤长度: 2m (other lengthes on request)