光纤压力传感器原理

• 　　光纤压力传感器的重要传感元件是法布利-比洛特(FP)型光学干涉仪。干涉仪的两面镜子分别是位于一真个薄膜内表面和位于另一真个光纤尖端。所施加的压力P引起了薄膜的偏移，而此偏移又直接转换成了FP 干涉仪空腔长度的变化。

  　　为得到薄膜偏移和所施加的压力间的线性关系，传感器的外形和材料都经严格选择。其关系可表示为：

  　　Lcav(P) = L0 + （P-P0）*S

  　　其中P 是施加到薄膜外表面上的压力(单位psi)

  　　P0是FP空腔内的压力(单位psi)

  　　Lcav是由信号解调器所测得的空腔长度(单位nm)

  　　L0是处于零点初始状态的空腔长度(单位nm)，通常定义为P =P0

  　　S 是传感器的灵敏度(单位nm)

  　　压力传感器有三种不同的类型：1)量规型；2）尽对型和3）差分型。在量规型传感器的情况下， P0即是四周压力或大气压。量规型传感器有a)一个通气孔，它使空腔处于四周压力下或b)一个密封成大气压的空腔；在尽对型压力传感器的情形下， P0 = 0，工厂生产时其空腔在真空状态下密封；而在差分型传感器的情形下， P0即是任意的压力。这种类型的传感器有一个通气孔接头，用于维持空腔内给定的压力。