深入分析静电感应器件的结构形式和应用
静电感应器件Static Induction Device——SID是一类新型的电力电子器件，主要包括静电感应晶体管Static Induetion Transistor——SIT、双极型静电感应晶体管Bipolar-Mode Static Induction Transistor——BSIT和静电感应晶闸管Static Induction Thyristor——SITH，具有其它半导体器件无法比拟的一系列优点，如控制功率大、工作频率高、电流容量大、耐高压、功耗小、噪声低、抗辐射能力强、开通关断全可控等，在很多领域得到了广泛的应用 本论文系统地阐述了SIT、SITH的作用理论，着重介绍了SID的结构、I-V特性、电流传输机制及沟道势垒的形成在此理论基础上，结合器件制造的特点，静电感应器件对器件的相关参数进行了讨论分析，并给出了具体的定值，利用L-edit版图设计软件设计了新的版图 实验以制备电性能优良的SID为出发点结构形式,应用结合SITH制作的经验和存在的问题，在外延工艺中解决了外延反型的工艺难点，在挖槽工艺中使用三步刻槽静电感应器件法，得到稳定的外延工艺和挖槽工艺条件，通过大量的实验，对部分工艺条件进行了调整通过工艺参数的调节，得到了具有典型混合I-V特性的复合SIT的工艺条件通过对试制管芯的测试，基本电性能有了明显的改善，说明了制作方案是合理的、可行的
静电感应晶体管的结构形式 静电感应晶体管主要有结构形式,应用三种结构形式:埋栅结构、表面电极结构和介质覆盖栅结构。
①埋栅结构是典型结构（如图），适用于低频大功率器件；
②表面电极结构适用于高频和微波功率SIT;
③介质覆盖栅结构是中国研制成功的，这种结构既静电感应器件适用于低频大功率器件，也适用于结构形式,应用高频和微波功率器件，其特点是工艺难度小、成品率高、成本低、适于大量生产。
静电感应晶体管的应用 静电感应晶体管的应用范围涉及到静电感应器件电机调速、感应加热系统、开关电源、高音质高频放大器、大功率中频广播发射机、电子镇流器、汽车电子器件和空间、军事等领域，可以说SIT的应用结构形式,应用已深入到工业、航空、通信、日常生活等各个领域。
