X射线荧光光谱仪主要由激发、色散、探测、记录及数据处理等单元组成。激发单元的作用是产生初级X射线。它由高压发生器和X光管组成。后者功率较大，用水和油同时冷却。色散单元的作用是分出想要波长的X射线。它由样品室、狭缝、测角仪、分析晶体等部分组成。通过测角器以1∶2速度转动分析晶体和探测器，可在不同的布拉格角位置上测得不同波长的X射线而作元素的定性分析。探测器的作用是将X射线光子能量转化为电能，常用的有盖格计数管、正比计数管、闪烁计数管、半导体探测器等。记录单元由放大器、脉冲幅度分析器、显示部分组成。通过定标器的脉冲分析信号可以直接输入计算机，进行联机处理而得到被测元素的含量。

　　X射线荧光光谱仪又根据一次能够分析单个元素或多个元素，而有单道与多道之分。贵金属首饰的x射线荧光光谱分析法是国际金融组织推荐的检测方法之一。由于元素及含量直接显示，所以测定起来很简单，尤其是定性分析和半定量分析快速、准确。定量分析比定性和半定量分析都要复杂，因为它需要一个精确比较的标准。具体的步骤是：

　　1．做好标样的定量变化工作曲线；

　　2．将被测样品放入样品室测试，记录元素和含量参数；