中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)位于上海市浦东新区张江高科技园区的一厂和Intel公司的11X厂被评为"2003年度最佳半导体厂"。这是由SemiconductorInternational杂志每年授予世界一流厂房的一项极高的荣誉。该评选标准主要基于以下几大因素:生产能力、产能提升速度、自动化程度,污染物控制程序、对员工以及环境健康和安全问题的考虑。SemiconductorInternational主编PeterSinger说:“中芯国际在这些领域都有出色的表现。另外
中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)位于上海市浦东新区张江高科技园区的一厂和Intel公司的
11X厂被评为"
2003年度最佳半导体厂"。这是由Semiconductor International杂志每年授予世界一流厂房的一项极高的荣誉。
该评选标准主要基于以下几大因素:生产能力、产能提升速度、自动化程度,污染物控制程序、对员工以及环境健康和安全问题的考虑。Semiconductor International主编 Peter Singer说:“中芯国际在这些领域都有出色的表现。另外,中芯国际在试生产后仅用一年半的时间,就开发出0.35-0.18微米的工艺和0.13微米铜制程后段工艺,中芯国际铜制程在如此短时间内达到量产水平也给我们留下了犹为深刻的印象。”
Intel公司的11X厂是第一个在
300mm晶圆厂中实现130nm工艺和双嵌入式铜工艺。在2003年下半年,该厂还将逐步转向90nm工艺。