1959年，1965年诺贝尔物理学奖获得者Richard P Feynman提出微型机械的构想。

　　1962年，硅微型压力传感器问世，之后50～500微米的齿轮，齿轮泵，气动涡轮及联接件等微系统问世。

　　1966-1972年，基本的微加工技术发展，制造出微机械元件。

　　1988年，加州大学伯克利分校制造出60-12微米直径的硅微型静电机。

　　1980年代，硅微加工技术迅猛发展，利用牺牲层腐蚀技术获得了微可动机构。

　　1、生产中的特点

　　MOEMS可以实现大批量生产。由于采用了集成电路芯片的生产技术，MOEMS芯片本身的封装已经达到了高度的集成化，其生产成本也大幅度降低。

　　2、结构上优势与特点

　　MOEMS的体积非常小，尺寸小至几微米，大也不过几毫米；响应速度在100ns～1s的范围内；其可动结构通常由静电致动，致动能为CV2／2；其结构可以做到相当复杂，包含元件数目达到1个～106个。

　　3、动作上特点

　　通过精确的驱动和控制，MOEMS中的微光学元件可实现一定程度或范围的动作，这种动态的操作包括光波波幅或波长的调整、瞬态的延迟、衍射、反射、折射及简单的空间自调整。上述任何两、三种操作的结合，都可以对入射光形成复杂的操作，甚至实现光运算和信号处理。