1、标准RS-232和USB（有以太网选件）。

　　2、贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。

　　3、用单传感器或多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测。

　　4、高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。

　　5、易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。

　　6、Window程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。

　　7、精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。

　　◆ 频率分辨率：在6.0　MHz时0.03　Hz

　　◆ 质量分辨率：0.375　ng／cm²

　　◆ 感应晶片频率：2.5，　3，　5，　6，　9.5，　10　MHz

　　◆ 膜厚显示：0.000～　999.9　K＆Aring；

　　◆ 成膜速率：00.0～999　Ang／sec　(0～9.99μm／min)

　　◆ 膜层数量：1～999

　　◆ 图形显示：256×64　LCD　，CCFL背景照明

　　◆ 全套配置

　　◆ MDC360C主机 一台、振荡器及电缆线 一套、探头 一个、晶片 5片

　　◆ 主机尺寸：16.98×3.47×9.355(单位：英寸)、前面板宽度18.98英寸