MEMS传感器有开环和闭环两种。在作为地震传感器之前，MEMS传感器多于自动控制领域，如美国模拟设备公司的ADX系列开环MEMS传感器(见图1)。该系列加速度传感器既可以测量动态加速度，又可以测量静态加速度。由于其噪声太大，决定了它不能用作地震检波器。

　　图1 开环加速度传感器原理图

　　闭环加速度传感器基于电容变化原理，惯性质体将加速度作用进行放大并转换成电容极板的位移。差动电容的变化通过检测电路变成电信号，在经过力平衡回路反馈，激励可移动的电容极板始终处于平衡位置。反馈信号同时作为输出，它表明了输入加速度的大小(见图2)。被反馈力测量的传感器响应值由芯片内部的一个5阶△∑ADC转换成数字量，输出128kHz串行数据位流。

　　图2 闭环加速度传感器原理图

　　标准惯性质体的上下表面各沉积着一层导电层(硅片上掺杂金或铝)，固定帽上下表面也有沉积层，由此在标准惯性质体和固定帽之间形成可变电容(见图3)。每一块MEMS由4个独立的硅晶片组成，质量体的上下表面是电容器的负极，上下两个极板是电容器的正极。两个极板的间距大约为lOμm，即质量体的最大位移在±5μm之间。

　　图3 MEMS传感器工作原理示意图