
开放式光栅线位移传感器为高精度型,输出波形为正弦波,主要用于精密仪器的数字化的改造,最高分辨率可达0.1um;封闭式光栅线位移传感器则主要用于普通机床、仪器的数字化改造,输出的波形为方波,按外形可分为小型尺和标准尺,其中标准型最长可做到3000mm,分辨率有1um、5um。
开放式光栅线位移传感器的标尺光栅裸露在外,微型发光器件和接收器件都装在传感头里。开放式光栅线位移传感器的精度较高,要求的工作环境条件高,通常运用于精密仪器及使用条件较好的数控设备上。
封闭式光栅线位移传感器则是发光器件、光电转换器件和光栅尺封装在紧固的铝合金型材里,其中发光器件采用红外发光二极管、光电转换器件采用光电三极管,在铝合金型材下部有柔性的密封胶条,可以防止铁屑、切屑和冷却剂等污染物进入尺体中。电气连接线经过缓冲电路进入传感头,然后再通过能防止干扰的电缆线送进光栅数显表,显示位移的变化。
光栅位移传感器,是由一对光栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示光栅)进行相对位移时,在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间(或明暗相间)的规则条纹图形,称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白(或明暗)相同的条纹转换成正弦波变化的电信号,再经过放大器放大,整形电路整形后,得到两路相差为90°的正弦波或方波,送入光栅数显表计数显示。