晶圆厂前端制程自动化工具  2012/3/1

  SpartanTM Portal制式大气设备前端模块(简称EFEM) 及Spartan处理界面方案主要用于解决复杂的交互操作时所产生的问题,以及其它因为多重供货商不同的自动控制环境所衍生出来的种种问题。
Spartan处理界面的目的在建造一个专门为制式大气晶圆处理解决方案所设计的平台。它包含一个完成核心工作-将晶圆从货架放到工具上不断来回的程序所需要的最小格局和最简设计,同时还可保持高度的洁净和效率。不但可以提供更高的产出并减少微粒数量,设计上也不复杂,更具可靠性、交互操作性和整合性,更轻巧,且比任何性能相同的系统更省电。其设计特色包括：拥有国际标准组织认证第一级或更佳的整合式迷你无尘式环境,主动式晶圆边缘抓取接触设计,一到四个FOUP平台的整合配置,由主要计算机或系统控制计算机来操控,可选择加装晶圆事先校正设备和光学辨识技术(OCR)能力。  Asyst科技公司  

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