电子探针主要有电子光学系统（镜筒）、X射线谱仪和信息记录、显示系统，如下图所示：

　　1、样品制备方便，不损耗原始样品。

　　2、把分析成分与显微组织观察有机的结合起来。

　　3、分析的灵敏度达到10-4～10-6g，而绝对量可达到10-15～10-18g。

　　4、分析区域可小到几个微米，能提供元素微观尺度的成分的不均匀信息。

　　1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分鉴定。

　　2、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域。

　　3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析。

　　4、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测。

　　5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。