由美国诺发系统公司（NovellusSystems）与复旦大学合作成立的“复旦-诺发互连研究中心”近日正式投入运行。据悉,该研究中心是目前中国唯一主要从事铜互连技术的研究机构。复旦-诺发互连研究中心由复旦大学和诺发公司于2003年10月联合成立,旨在建成为一个先进铜互连工艺技术的研究中心,为复旦及国内其它院校、科研机构的相关专业学生、研究人员,以及诺发的本地客户服务。据介绍,此研究中心拥有诺发系统捐赠给复旦大学价值1200万美元
由美国诺发系统公司（Novellus Systems）与复旦大学合作成立的“复旦-诺发互连研究中心”近日正式投入运行。据悉,该研究中心是目前中国唯一主要从事铜互连技术的研究机构。
复旦-诺发互连研究中心由复旦大学和诺发公司于
2003年
10月联合成立,旨在建成为一个先进铜互连工艺技术的研究中心,为复旦及国内
其它院校、科研机构的相关专业学生、研究人员,以及诺发的本地客户服务。据介绍,此研究中心拥有诺发系统捐赠给复旦大学价值1200万美元的一整套铜半导体工艺设备,包括PECVD、
PVD、ECD、
CMP等设备。据了解,Novellus工程技术人员已为该中心安装了全部设备,并调试完毕了两台设备。
复旦大学校长王生洪（右）与Novellus CEO Richard Hill（中）在“复旦－诺发互连研究中心”投入运行宣布仪式上
存储器生产厂在向更窄工艺尺寸的转移过程中,也将考虑用铜替代铝,”Novellus的CTO兼整合与先进发展部执行副总裁Wilbert van den Hoek说。在中国半导体产业高速发展的今天,“复旦-诺发互连研究中心”的成立,必将为中国的晶圆制造厂在今后的1~2年内大量采用铜互连技术,提供一个高水平的技术研发及人才培养基地。
